实验室用气体流量计：最全分类解析及应用场景详解
2025-09-24
这里为您提供一份简洁明了的实验室用气体流量计分类解析及应用指南。
一、 核心分类（按测量原理）
实验室气体流量计主要分为两大类：体积流量计和质量流量计。
| 分类 | 工作原理 | 优点 | 缺点 | 典型应用场景 |
|---|---|---|---|---|
| 1. 质量流量计 (MFM) |
直接测量单位时间内流过气体的质量。 核心原理是流体流经被加热的管道时， |
读数直接（如 sccm, slm），不受温度、压力影响， 精度高，响应快。 |
价格相对较高；对气体洁净度有要求。 | 化学反应（如CVD、MOCVD）、细胞培养、 气相色谱载气控制、需要精确配气的任何场景。 |
| 2. 体积流量计 | 测量单位时间内流过气体的体积。 | 结构简单，成本较低。 | 读数受环境温度、压力影响，需要换算才能得到标准状态下的流量。 | |
| 2.1 转子流量计 | 基于浮子在垂直锥形管中旋转上升的高度来测量流量。 | 价格低廉，结构简单直观，无需电源。 | 精度较低，需垂直安装，对振动敏感。 | 教学演示、气体粗略分配、通风橱气路指示。 |
| 2.2 皂膜流量计 | 通过测量皂膜在标准玻璃管内移动一定体积所需的时间来计算流量。 | 实验室基准仪器，精度极高，常用于校准其他流量计。 | 无法连续测量，操作繁琐，为手动测量设备。 | 流量计校准、低流量的精确测量和验证。 |
| 2.3 涡街流量计 | 流体流过漩涡发生体时产生交替的漩涡，通过测量漩涡频率计算流量。 | 量程宽，稳定性好，无活动部件。 | 对振动敏感，低流速测量效果不佳。 | 实验室中型气源总管路的流量监测。 |
二、 特殊类型：质量流量控制器 (MFC)
这是实验室最常用、最重要的控制型流量计。它在质量流量计 (MFM) 的基础上，增加了一个自动控制阀和一个闭环控制系统。
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功能：不仅能测量实时流量，更能根据用户的设定值，自动、精确地控制阀门开度，使实际流量稳定在设定值。
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应用：凡是需要精确、稳定、可编程控制气体流量的场景，几乎都使用MFC。 例如：
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半导体工艺设备（CVD, PECVD, Etching）
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催化剂评价装置
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燃料电池测试系统
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任何需要多种气体按比例精确混合的实验。
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三、 应用场景快速选择指南
| 实验需求 | 推荐首选类型 | 关键考量 |
|---|---|---|
| 精确控制反应气体流量（如合成、沉积） | 质量流量控制器 (MFC) |
精度、重复性、控制稳定性、耐腐蚀性 （根据气体选择材质）。 |
| 监测或控制细胞培养箱内的CO?浓度 |
质量流量控制器 (MFC) 或 热式质量流量计 (MFM) |
小流量下的精确性和稳定性。 |
| 校准其他流量计 | 皂膜流量计 | 作为基准，追求最高绝对精度。 |
| 教学实验、粗略观察气流 | 转子流量计 | 成本、直观性。 |
| 监测压缩空气或氮气总管的消耗量 | 涡街流量计 | 中等流量范围，耐用性。 |
| 仅需知道瞬时流量，无需控制 | 热式质量流量计 (MFM) | 读数直接，精度高于转子流量计。 |
总结
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要精确控制，选MFC（质量流量控制器）。
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要高精度测量（不控制），选MFM（质量流量计）。
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要低成本、粗略指示，选转子流量计。
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要校准或获得基准值，选皂膜流量计。
希望这份简洁的分类解析能帮助您快速选择合适的实验室气体流量计。如想了解更多流量计相关信息或者流量计选型，可咨询艾丝特流量计厂家技术客服：180 1926 2426（微信同号）获取帮助。
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