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2026-05-06
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  • ÈÕ±¾ Horiba / ¸»Ê¿½ð£ºHoriba ¾«¶È ±0.3%-0.5% FS£¬Ñ¹µç·§ÃÅÏìÓ¦¿ì£¨100ms£©£¬ÊÊÅ丯ʴÐÔÆøÌ壻¸»Ê¿½ð¸ß´¿ÆøÌå¿ØÖÆ¶¥¼â£¬¾«¶È¿É´ï ±0.1% FS£¬×¨¹¥°ëµ¼ÌåÌØÖÖÆøÌå¡£
  • ÃÀ¹ú Alicat£ººÁÃë¼¶ÏìÓ¦£¨10ms£©£¬²ãÁ÷²îѹʽ¿Éͬ²½²âÁ÷Á¿ / ѹÁ¦ / ζȣ¬ÊÊÅäÂö³å¹©ÆøÓ븴ÔÓÁ÷Ì峡¾°¡£

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  • ²©Ë¼·É¶û£¨ÉϺ££©£º×ÔÑÐ˫ԭÀí´«¸ÐÆ÷£¬¾«¶È ±0.2% FS£¬¶¨ÖÆ»¯ÄÜÁ¦Ç¿£¬¸ßѹ / Ä͸¯Ê´ÐͺÅÍêÉÆ¡£
  • ±±¾©¾«Á¿£¨ACCU£©£ºÈý´ó¼¼Êõ·Ïߣ¨ÈÈʽ / ²îѹ / ¿ÆÀï°ÂÀû£©£¬ÄÍΠ350¡æ£¬ÊÊÅä¸ßÎÂʯ»¯Óë¿ÆÑг¡¾°¡£
  • Ò×¶ÈÖÇÄÜ / оóÏ£º¾­¼ÃÐÍ´ú±í£¬¾«¶È ±0.5%-0.8% FS£¬Ö÷´òÖÐСÁ÷Á¿Ó빤ҵͨÓó¡¾°¡£

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1. ¶Ô±È½ø¿ÚÆ·ÅÆ£¨Brooks/Horiba£©

  • ¼Û¸ñ£º°¬Ë¿ÌرȽø¿ÚµÍ 30%-50%£¬±ê×¼ÐͺŠ5000-8000 Ôª / ̨£¬½ø¿Ú 1.2-3 ÍòÔª / ̨¡£
  • ½»ÆÚ£º°¬Ë¿Ìرê×¼²úÆ· 1-2 ÖÜ£¬¶¨ÖÆ 3-4 ÖÜ£»½ø¿Ú 8-16 ÖÜ£¬ÊÛºó·µ³§ÖÜÆÚ³¤¡£
  • ·þÎñ£º°¬Ë¿ÌØ 48 СʱÏÖ³¡ÏìÓ¦£¨³¤Èý½Ç£©£¬18 ¸öÔÂÖʱ££¬Ãâ·ÑУ׼£»½ø¿ÚÊÛºóÒÀÀµ´úÀíÉÌ£¬ÏìÓ¦Âý¡¢·ÑÓøß¡£
  • ÐÔÄÜ£º°¬Ë¿Ìؾ«¶È / Îȶ¨ÐÔ½Ó½ü½ø¿ÚÖжˣ¬Âú×ã 95% ÒÔÉϹ¤Òµ³¡¾°£»½ø¿ÚÔÚ 7nm °ëµ¼Ìå¡¢³¬¸ßѹ£¨£¾10MPa£©µÈ¼«¶Ë³¡¾°ÈÔÕ¼ÓÅ¡£

2. ¶Ô±È¹ú²úÆ·ÅÆ£¨²©Ë¼·É¶û / ±±¾©¾«Á¿£©

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  • ¿Í»§×ÊÔ´£º°¬Ë¿ÌØÍ¬Ê±·þÎñ°ëµ¼Ìå¡¢ÐÂÄÜÔ´¡¢»¯¹¤¡¢ÖÆÒ©µÈÐÐҵͷ²¿ÆóÒµ£¬¿çÐÐÒµÕûºÏÄÜÁ¦Í»³ö¡£

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ÔÚ°ëµ¼Ìå “¿¨²±×Ó” ÁìÓò£¬°¬Ë¿ÌØ MFC Òѳɹ¦Ìæ´ú½ø¿ÚÉ豸£¬½øÈëÖÐо¹ú¼Ê¡¢»ªºç¼¯ÍŵÈÏȽøÖƳ̲úÏߣ¬ÖúÁ¦ÎÒ¹ú°ëµ¼ÌåÉ豸¹ú²ú»¯ÂÊÌáÉý¡£ÔÚÐÂÄÜÔ´¡¢ÖÆÒ©¡¢»¯¹¤µÈÁìÓò£¬°¬Ë¿ÌØ MFC ÒÔ¸ßÐÔ¼Û±ÈÓëÎȶ¨ÐÔ£¬³ÉΪ¹ú²úÌæ´úÊ×Ñ¡£¬°ïÖú¿Í»§½µ±¾ÔöЧ¡¢±£ÕϹ©Ó¦Á´°²È«¡£

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